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SI-F 系列 微型传感头型分光干涉式 激光位移计
型号： SI-F 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
产品描述
SI-F 系列 传感头包括超小传感头、长距离传感头和适用于其他各种应用的专用传感头。 传感头只由光纤和镜头组成，不包含电子零件 在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。 微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。 0.25 μm 的分辨率 算术运算电路将测量数据即时转换为厚度。 传感头中没有电子部件，不会产生热量。 微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。 无需预留安装位置。 即使紧靠发热的机身也能进行测量。 即使是高速工件也可安全地测量。 微型传感头可用于检测载物台停止的位置，因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。 无碰撞危险。 实现无时间误差的多轴控制。 无需预留安装位置。 微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊（例如胶辊）的偏转。 非接触测量方式避免损伤工件。 控制器即时算出并显示偏转度。 可紧跟高速旋转的工件。 微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。 即使掩模较厚亦可安装微型传感头。 无需预留安装位置。 传感头中没有电子部件，不会产生热量。 微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。 0.25 μm 的分辨率 可测量高速旋转的工件的厚度。 实现无时间误差的多轴控制。 型号 SI-F01 SI-F10 SI-F80 类型 微型传感头型 传感头 长距离型 传感头 厚度测量型 传感头 测量范围 0.05 至 1.1 mm *1 11.3 至 12.35 mm *1 0.05 至 1.1 mm *6 测量用光源 红外 SLD 中心波长 820 nm 输出 0.6 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) 光束直径 ø20 µm*3 ø40 µm*3 ø20 µm*3 线性度 ±0.3 µm*4 ±0.3 µm*7 分辨率 0.25 µm *5 采样周期 200 µs 导向光源 红色半导体激光 波长 650 nm 输出 0.1 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) LED显示 目标靠近测量中心：绿光。目标在测量范围内：橙光。目标在测量范围外：橙光闪烁。0.01% 的 F.S./°C 温度波动 F.S.的0.01% 环境抗耐性 外壳防护级 IP67 IP64 环境光照 白炽灯/荧光灯：最大 10,000 lux 环境温度 0 至 +85 °C 0 至 +40 °C 0 至 +50 °C 相对湿度 35 至 85 % RH (无凝结) 抗震性 10 至 55 Hz、双振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时 材料 SUS 材料 传感头 分光单元 聚碳酸酯 重量 约 24 g (含连接线) 约 38 g (含连接线) 约 39 g (含连接线) *1 表示与传感头正面的距离。对于长距离型传感头，会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。 型号 SI-F1003V SI-FA103 独立型 SI-F1003/SI-FD500 类型 主控制器一体型 扩展控制器*3 可连接的光谱单元数 2 1 显示 最小显示单位 0.001 µm 无 显示范围 ±999.999 µm 至 ±9,999.99 mm，(可选 7 种设定) 显示周期 10 次／秒 端子台 激光远程联锁输入 无电压输入*1 无*1 定时 1 输入 无电压输入 2*1 复位 1 输入 无电压输入*1 自动调零1 输入 激光控制输入 模拟电压输出 ±10 V x 2 输入，输出阻抗: 100 Ω*1 ±10 V x 1 输入，输出阻抗: 100 Ω*1 模拟电流输出 4 至 20 mA x 2 输出，最大负载阻抗: 350 Ω*1 4 至 20 mA x 1 输出，最大负载阻抗: 350 Ω*1 警报输出 NPN 开集极输出(N.C.)*1 无*1 通用比较器输出 NPN 开集极输出*1 扩展接口 定时输入 无电压输入 2*1 复位输入 无电压输入*1 自动调零输入 程序切换输入 无电压输入 x 3 输入*1 警报输出 NPN 开集极输出(N.C.)*1 比较器/ 二进制 输出 二进制输出 测量数据输出 (21 位), 可选 OUT 的 NPN 开集极输出*1 选通脉冲输出 NPN 开集极输出*1 二进制选择输出 二进制选择输入 无电压输入*1 RS-232C 接口 测量数据输出和控制输入/输出 (波特率最高可选择 115200 bps) 无 USB 接口 兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED) Ethernet 接口 100Base-TX/10Base-T 主要功能 12 个 OUT 同时测量 额定 电源电压 24 VDC ±10 %、纹波 (P-P) 10 % 以下 随主控制器提供 消耗电流 连接 1 个传感头时: 0.6 A 以下、连接 6 个传感头时: 1.5 A 以下。 环境抗耐性 环境温度 0 至 +50 °C*2 相对湿度 35 至 85 % RH (无凝结) 抗震性 10 至 55 Hz、双振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时 重量 约 600 g 约 300 g *1 • NPN 开极集极额定输出：最大 50 mA(最大 40 V)，残余电压：最大 0.5 V。微型传感头型分光干涉式 激光位移计
特性
传感头变化灵活，扩大测量范围
消除发生测量错误的隐患
SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用
测量晶片厚度
[优点]
超高分辨率多功能控制器
不发热
测量复印机中的辊的动作。
[优点]
ø2 mm 微型传感头最高可承受 85°C
5 kHz 高速采样
定位高精度载物台
[优点]
10 mm 以上的设定距离最多 6 轴同时测量
ø8 mm 小型传感头
高精度测量辊的偏转。
[优点]
对工件无伤害直接表示偏转度
5 kHz 高速采样
测量曝光掩模的间隙
[优点]
80 mm 的设定距离ø12 mm 小型传感头
不发热
测量玻璃盘的厚度
[优点]
超高分辨率5 kHz 高速采样
最多 6 轴同时测量
(可实现的检测距离: 80 至 81.1 mm)
*2 FDA 的激光分类以 Laser Notice No. 50 和 IEC60825-1 为依据。
*3 表示量測範圍內的最小光束直徑。
*4 当测量对象是玻璃板并将平均测量次数设为 256 时获得的值。
*5 当测量位于测量范围中心的玻璃板表面并将平均测量次数设为 4,096 时获得的值。
*6 厚度测量型传感头显示玻璃板间距的测量范围。请确保测量对象位于检测距离范围内。
*7 当测量两块玻璃板间隙并将平均测量次数设为 256 时获得的值。
计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零，数据存储， 光线监控器、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。
• 无电压额定输入：启动电压：最大 1 V，关闭电流：最大 0.6 mA。
• SI 系列的部分输入/输出电路是内部共用电路。请注意，内部公共端之间不会因连接线/外部设备之间的电位差而产生电位差。
要了解详细信息，请参见“接线注意事项”。
*2 当连接两个或更多扩展控制器时，环境温度为 0 至 +40 °C。
*3 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。