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WI-5000 系列 干涉式同轴 3D 位移测量仪
型号： WI-5000 系列
品牌： 日本基恩士KEYENCE
产品描述
WI-5000 系列 针对最大 10 × 10 mm 的测量区域，可瞬间获取 8 万个点的高度。 由于采用白光干涉原理，不受材质/颜色、死角的影响，实现了微米级的高精度测量。 测量多点时，需要高精度且高速扫描目标物。 因此，往往会将时间浪费在移动载物台上，不易进行全数检测。 由于 WI-5000 系列是以面进行同时测量，因此可大幅缩短测量时间，实现全数检测。 为了用于离线检测，备有可固定传感器头的专用底座。 配备可削减检测工时的各种实用功能。 改善从简易测量到保存数据等各种情况的可操作性。 型号 WI-001*1*2*3 WI-004*1*2*3 WI-010*1*2*3 参考距离 18 mm 测量范围 Z 1.4 mm(标准模式)，0.7 mm(高速模式) XY 1 × 1 mm 4 × 4 mm 10 × 10 mm 最小检测区域 4 × 4 µm 15 × 15 µm 40 × 40 µm 重复精度(段差) 0.1 µm*4 直线性(段差) ±2.8 µm(±0.2% of F.S.，F.S.=1.4 mm，+20 至+30℃)*5 测量用光源 类型 红外线SLD 中心波长 830 nm 激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) 3R 类 输出 3.6 mW 引导用光源 类型 红色半导体激光 波长 660 nm 激光分类(IEC60825-1, GB7247.1) 1 类 输出 0.15 mW 采样周期 内部触发 133 ms(高速模式)，266 ms(标准模式) 外部触发 最快 266 ms(高速模式)，最快 532 ms(标准模式)*6 环境抗耐性 环境光照 白炽灯/荧光灯：5,000 lux 以下 环境温度 0 至 +35 °C 相对湿度 20 至 85 % RH (无凝结) 重量 约 3000 g *1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。 型号 WI-5000 测量头连接台数 1 台 设定注册数 SD 卡 1、SD 卡 2 分别可保存 1000 个(取决于 SD 卡容量及设定内容)，可进行外部切换 测量工具数 100 个/ 设定(其中20 个为位置偏移补正用) 测量模式 高度 高度测量、段差测量、多点高度测量(固定配置)、多点高度测量(自由配置)、轮廓测量、连续高度测量 图像尺寸测量 距离测量、宽度测量、直线检测、角度测量、圆检测、点检测 辅助功能 数值计算、图像范围生成、直线显示、圆显示、点显示、刻度线显示 接口 控制输入 20 点(输入端子台5 点，并联 I/O15 点) 控制输出 ・28 点(输出端子台 6 点，并联I/O 22 点) RS-232C 数值输出及控制输入输出(无法与使用 RS-232C 端口的 PLC 链接同时使用) PLC 链接 使用 Ethernet 端口或 RS-232C 端口进行数值输出及控制输入输出(无法与 EtherNet/IPTM 同时使用。使用 RS-232C 端口时，无法与 RS-232C 无协议通信同时使用) Ethernet ・数值输出及控制输入输出 USB ・与基恩士生产的PC 应用软件连接后，除了数值输出、控制输入输出以外，还能进行包含检测设定的上传、下载、各种模拟、图像数据在内的各种数据的收发、远程连接 EtherNet/IPTM ・使用Ethernet 端口进行数值输入输出及控制输入输出(无法与PLC 链接同时使用) 鼠标 可使用选配件的专用鼠标(8与控制器包装在一起)进行各种菜单操作 USB HDD 通过将专用的USB 端口(符合USB3.0，支持总线电源：额定输出 900 mA)连接到HDD(最大 2 TB)，可输出包含图像数据在内的各种数据 显示器输出 模拟 RGB 输出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色，60 Hz) 最小显示单位 0.1 µm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3 显示语言 简体中文/ 繁体中文/ 日文/ 英文/ 韩文 切换(初次启动时决定初始语言) 额定 最大消耗电流 2.7 A 电源电压 24 VDC ±10 % 环境抗耐性 环境温度 0 至 +45 °C (DIN 导轨安装)、0 至 +40 °C (底面安装) 相对湿度 35 至 85 % RH (无凝结) 重量 约 2,000 g *1 支持NPN 输入设备的+ 共用连接、支持PNP 输入设备的- 共用连接均可。 型号 WI-S1 XY 载物台移动量 X 轴：75 mm，Y 轴：50 mm XY 载物台倾斜角度 ±2 度 Z 轴载物台移动量 粗调节轮：64 mm，微调节轮：2.0 mm 外形尺寸(可动部位除外) 宽度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm 重量 约 10 kg 型号 WI-C3 WI-C5 WI-C10 WI-C3L WI-C5L WI-C10L WI-C3R WI-C5R WI-C10R 类型 测量头连接电缆 标准 测量头连接电缆 高柔性 末端形状 直型 L 型 直型 长度 3 m 5 m 10 m 3 m 5 m 10 m 3 m 5 m 10 m干涉式同轴 3D 位移测量仪
特性
并非以点线测量，而是以“面”进行测量
在线实现高速全数检测
大幅削减离线检测工时
应用案例
电子、电气行业
测量精密粘合剂的高度、体积
检测LED芯片的安装后高度、倾斜
检测CMOS的高度、倾斜
测量表面安装部件的端子高度
汽车、金属行业
测量阀的行程终端
测量ECU底座的焊锡高度、体积
液晶、半导体行业
晶片切割后的槽深度
测量蚀刻后的高度差
其他行业
测量精密加工品的高度差、平面度
检测精密阀的垫片翘起
*2 使用基恩士标准目标物，并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
*3 矩形的尺寸为WI-001：0.3 × 0.9 mm，WI-004：1.1 × 3.7 mm，WI-010：3 × 9 mm。
*4 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*5 使用基恩士标准目标物，并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时，且拍摄时间为精确度优先时)。
*6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms，标准模式 240 ms。
・光MOSFET*1
・与基恩士生产的PC 应用软件连接后，除了上述功能以外，还能进行包含检测设定的上传、下载、各种模拟、图像数据在内的各种数据的收发、程连接
・支持FTP 客户端、服务器功能，支持VNC 服务器功能(计算机以外的客户端仅支持显示器画面显示)、BOOTP 功能
・1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T
・USB2.0 专用
・支持循环通信(最大 1436 byte)、支持信息通信
・最大连接数 32
・遵循一致性测试 CT12 版